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MEMS(미세전자기계시스템) 반도체 : 개념과 응용을 중심으로
1. MEMS의 기본개념 **MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)**는 미세전자기계시스템이라는 뜻으로, 미세한 전자 기계 소자를 설계하고 제작하는 기술입니다. 일반적인 반도체 소자와는 달리, MEMS는 전기적 신호뿐만 아니라 기계적인 움직임도 포함하여 동작합니다. 이 기술은 마이크로미터(µm) 수준의 매우 작은 크기에서 기계적, 전기적, 화학적 기능을 모두 수행할 수…